| 진공열처리로

진공 상태에서 가열하는 장비로, Vacuum-annealing, Vacuum-hardening, Vacuum-tempering  방식 등이 있으며, 진공 상태이므로 산화 및 탈탄 현상을 방지하여 강도와 내마모성 등을 향상 시키며, 효율적으로 냉각 시킬 수 있음. 

| 전기로

전기 가열 방식의 Heating-system으로 정밀하고 균일한 열처리를 통해 분말 성형 제품을 열처리하는 소성 장비. 

| 증착장비

박막 증착에 사용되는 장비로 반도체 성능향상, 전기적 특성 개선, 불량률 감소 및 생산 효율 증대 등 반도체 품질과 성능을 결정짓는 중요한 공정 장비.